Исследование влияния режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на их физико-механические характеристики

Исследование влияния режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на их физико-механические характеристики

Detalles Bibliográficos
Parent link:Прикладная физика.— , 1994-
№ 6.— 2021.— [С. 58-62]
Autor Corporativo: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Outros autores: Рунц А. А. Артем Алексеевич, Ручкин С. Е. Сергей Евгеньевич, Жидик Ю. С. Юрий Сергеевич, Юрьева А. В. Алена Викторовна, Полосухина М. И. Мария Ивановна
Summary:Заглавие с экрана
Представлены результаты отработки режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на поверхность подложек из нержавеющей стали при разных параметрах процесса, проведена количественная оценка содержания sp3-связей и физико-меха- нических характеристик полученных покрытий, сформулирован вывод о влиянии технологических параметров процесса осаждения на данные характеристики.
The paper presents the results of testing the technology of deposition of diamond-like carbon films on the surface of stainless steel substrates at different process parameters, a quantitative assessment of the sp3 bond content and the physical and mechanical characteristics of the coatings obtained, a conclusion about the influence of the deposition process technological parameters on these characteristics is formulated.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Publicado: 2021
Subjects:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
вакуумно-дуговые испарения
пленки
осаждение
алмазоподобный углерод
физико-механические характеристики
интегральные схемы
pulsed vacuum arc evaporation
DLC films
integrated circuits
Acceso en liña:https://doi.org/10.51368/1996-0948-2021-6-58-62
https://www.elibrary.ru/item.asp?id=43064331
Formato: Electrónico Capítulo de libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=667029

Títulos similares

Títulos similares