Исследование влияния режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на их физико-механические характеристики
| Parent link: | Прикладная физика.— , 1994- № 6.— 2021.— [С. 58-62] |
|---|---|
| その他の著者: | , , , , |
| 要約: | Заглавие с экрана Представлены результаты отработки режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на поверхность подложек из нержавеющей стали при разных параметрах процесса, проведена количественная оценка содержания sp3-связей и физико-меха- нических характеристик полученных покрытий, сформулирован вывод о влиянии технологических параметров процесса осаждения на данные характеристики. The paper presents the results of testing the technology of deposition of diamond-like carbon films on the surface of stainless steel substrates at different process parameters, a quantitative assessment of the sp3 bond content and the physical and mechanical characteristics of the coatings obtained, a conclusion about the influence of the deposition process technological parameters on these characteristics is formulated. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| 言語: | ロシア語 |
| 出版事項: |
2021
|
| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | https://doi.org/10.51368/1996-0948-2021-6-58-62 https://www.elibrary.ru/item.asp?id=43064331 |
| フォーマット: | 電子媒体 図書の章 |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=667029 |