Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук

書誌詳細
第一著者:	Салтымаков М. С. Максим Сергеевич
その他の著者:	Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (727)
要約:	Защита сост. 24.03.2010 г.
言語:	ロシア語
出版事項:	Томск, 2010
主題:	тонкие пленки осаждение ионное распыление сильноточные импульсные ускорители ионные диоды мишень воздействие поверхностный слой химический состав изменение свойства структура авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
フォーマット:	図書
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=179099

類似資料