Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي:	Салтымаков М. С. Максим Сергеевич
مؤلف مشترك:	Томский политехнический университет (ТПУ)
مؤلفون آخرون:	Ремнев Г. Е. Геннадий Ефимович (727)
الملخص:	Защита сост. 24.03.2010 г.
اللغة:	الروسية
منشور في:	Томск, 2010
الموضوعات:	тонкие пленки осаждение ионное распыление сильноточные импульсные ускорители ионные диоды мишень воздействие поверхностный слой химический состав изменение свойства структура авторефераты диссертаций труды учёных ТПУ
التنسيق:	كتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=179099

مواد مشابهة