Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии учебник для вузов
| Autor Principal: | |
|---|---|
| Outros autores: | , , |
| Summary: | URL: https://urait.ru/bcode/561307 (дата обращения: 27.08.2025). В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) — электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств» и «Электронные приборы», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники. |
| Publicado: |
Москва, Юрайт, 2025
|
| Series: | Высшее образование |
| Subjects: | |
| Acceso en liña: | https://urait.ru/bcode/561307 |
| Formato: | Electrónico Libro |