Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы учебник для вузов

Bibliographic Details
Main Author: Гуляев Ю. В. Юрий Васильевич
Other Authors: Иванов В. И. Владимир Иванович, Лучников П. А. Петр Александрович, Сигов А. С. Александр Сергеевич, Суржиков А. П. Анатолий Петрович
Summary:URL: https://urait.ru/bcode/561305 (дата обращения: 27.08.2025).
Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры — технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», «Конструирование и технология радиоэлектронных средств» и «Микроэлектроника», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
Published: Москва, Юрайт, 2025
Series:Высшее образование
Subjects:
Online Access:https://urait.ru/bcode/561305
Format: Electronic Book