Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы учебник для вузов
Main Author: | |
---|---|
Other Authors: | , , , |
Summary: | URL: https://urait.ru/bcode/561305 (дата обращения: 27.08.2025). Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры — технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», «Конструирование и технология радиоэлектронных средств» и «Микроэлектроника», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники. |
Published: |
Москва, Юрайт, 2025
|
Series: | Высшее образование |
Subjects: | |
Online Access: | https://urait.ru/bcode/561305 |
Format: | Electronic Book |