Теория механизмов и машин. Проектирование элементов и устройств технологических систем электронной техники учебник для вузов

Bibliographic Details
Main Author: Ивашов Е. Н. Евгений Николаевич
Other Authors: Лучников П. А. Петр Александрович (340), Степанчиков С. В. Сергей Валентинович, Сигов А. С. Александр Сергеевич
Summary:URL: https://urait.ru/bcode/561261 (дата обращения: 27.08.2025).
В учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумного технологического оборудования, l-координатных исполнительных устройств, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, различных передаточных механизмов, трибосопряжений с модифицирующими полимерными покрытиями, электростатических крепежных устройств, а также вопросы расчета функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнений, газовыделение и др. Учебный материал соответствует курсу «Теория механизмов и машин», он четко систематизирован, дан в доступной для понимания форме. Текст содержит чертежи, информативные схемы, таблицы и графики. Главным плюсом учебника является наличие большого количества методологически эффективных практических примеров с разбором решений.
Published: Москва, Юрайт, 2025
Edition:2-е изд.
Series:Высшее образование
Subjects:
Online Access:https://urait.ru/bcode/561261
Format: Electronic Book