Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии, учебник для вузов

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Сигов А. С. Александр Сергеевич
Otros Autores: Иванов В. И. Владимир Иванович, Лучников П. А. Петр Александрович, Суржиков А. П. Анатолий Петрович
Sumario:URL: https://urait.ru/bcode/537240 (дата обращения: 27.08.2025).
В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) — электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств» и «Электронные приборы», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
Publicado: Москва, Юрайт, 2024
Colección:Высшее образование
Materias:
Acceso en línea:https://urait.ru/bcode/537240
Formato: MixedMaterials Electrónico Libro