Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии, учебник для вузов
| Autore principale: | |
|---|---|
| Altri autori: | , , |
| Riassunto: | URL: https://urait.ru/bcode/512261 (дата обращения: 27.08.2025). В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) — электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств» и «Электронные приборы», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники. |
| Pubblicazione: |
Москва, Юрайт, 2023
|
| Serie: | Высшее образование |
| Soggetti: | |
| Accesso online: | https://urait.ru/bcode/512261 |
| Natura: | Elettronico Libro |