Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы, учебник для вузов

Dettagli Bibliografici
Autore principale: Гуляев Ю. В. Юрий Васильевич
Altri autori: Иванов В. И. Владимир Иванович, Лучников П. А. Петр Александрович, Сигов А. С. Александр Сергеевич, Суржиков А. П. Анатолий Петрович
Riassunto:URL: https://urait.ru/bcode/512259 (дата обращения: 27.08.2025).
Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры — технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», «Конструирование и технология радиоэлектронных средств» и «Микроэлектроника», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
Pubblicazione: Москва, Юрайт, 2023
Serie:Высшее образование
Soggetti:
Accesso online:https://urait.ru/bcode/512259
Natura: MixedMaterials Elettronico Libro