Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы, учебник для вузов
| Autore principale: | |
|---|---|
| Altri autori: | , , , |
| Riassunto: | URL: https://urait.ru/bcode/512259 (дата обращения: 27.08.2025). Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры — технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», «Конструирование и технология радиоэлектронных средств» и «Микроэлектроника», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники. |
| Pubblicazione: |
Москва, Юрайт, 2023
|
| Serie: | Высшее образование |
| Soggetti: | |
| Accesso online: | https://urait.ru/bcode/512259 |
| Natura: | MixedMaterials Elettronico Libro |