Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы учебник для вузов

Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia: Гуляев Ю. В. Юрий Васильевич
Beste egile batzuk: Иванов В. И. Владимир Иванович, Лучников П. А. Петр Александрович, Сигов А. С. Александр Сергеевич, Суржиков А. П. Анатолий Петрович
Gaia:URL: https://urait.ru/bcode/490268 (дата обращения: 27.08.2025).
Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры — технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», «Конструирование и технология радиоэлектронных средств» и «Микроэлектроника», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
Argitaratua: Москва, Юрайт, 2022
Saila:Высшее образование
Gaiak:
Sarrera elektronikoa:https://urait.ru/bcode/490268
Formatua: Baliabide elektronikoa Liburua