Основы автоматизации технологических процессов, учебное пособие для спо

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Щагин А. В. Анатолий Васильевич
مؤلفون آخرون: Демкин В. И. Василий Иванович, Кононов В. Ю. Владислав Юрьевич, Кабанова А. Б. Алла Борисовна
الملخص:URL: https://urait.ru/bcode/468397 (дата обращения: 27.08.2025).
Учебное пособие посвящено рассмотрению вопросов автоматизации технологических процессов производства изделий микроэлектроники. Авторы сочли целесообразным отразить такие вопросы, как основные технологические процессы обрабатывающей фазы производства изделий микроэлектроники для получения интегральных структур, систем автоматизации техпроцессов, технических средств автоматизации и управления, контроллеров и программно-технических комплексов отечественных и зарубежных производителей, используемых в системах управления техпроцессами, систем диспетчерского управления и сбора данных.
منشور في: Москва, Юрайт, 2021
سلاسل:Профессиональное образование
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:https://urait.ru/bcode/468397
التنسيق: الكتروني كتاب