Вакуумная техника: методические указания к выполнению практических занятий для студентов направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль «Микроэлектроника и твердотельная электроника») всех форм обучения

Bibliographic Details
Main Author:	Кошелева Н. Н.
Other Authors:	Николаева Е. П.
Summary:	Методические указания содержат сведения об элементах вакуумных систем, процессах газовыделения из материалов, сорбционных средствах откачки, проектном расчете вакуумных систем. Приведен библиографический список. Предназначены для студентов третьего курса. Книга из коллекции ВГТУ - Инженерно-технические науки
Published:	Воронеж, ВГТУ, 2025
Subjects:	ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА ПРАКТИЧЕСКИЕ ЗАНЯТИЯ СОРБЦИОННЫЕ ПРОЦЕССЫ ТОНКИЕ ПЛЕНКИ МЕТОДИЧЕСКИЕ ПОСОБИЯ МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ ВГТУ МАКРООБЪЕКТ СПРАВОЧНИК МАГНИТНОГО ДИСКА
Online Access:	https://e.lanbook.com/book/496133 https://e.lanbook.com/img/cover/book/496133.jpg
Format:	Electronic Book

Internet