Основы технологии электронной компонентной базы. Методы контроля характеристик материалов в технологических процессах получения тонкопленочных материалов
| Yazar: | |
|---|---|
| Diğer Yazarlar: | |
| Özet: | Рекомендовано редакционно-издательским советом университета В лабораторном практикуме излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля их электрофизических и структурных параметров. Материал практикума соответствует учебному плану курса «Основы технологии электронной компонентной базы». Предназначен для студентов, обучающихся по направлению 210100 в качестве бакалавров, инженеров и магистров, при выполнении лабораторных работ, подготовке дипломных работ и магистерских диссертаций. Книга из коллекции МИСИС - Инженерно-технические науки |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
Москва, МИСИС, 2013
|
| Konular: | |
| Online Erişim: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_id=47468 https://e.lanbook.com/img/cover/book/47468.jpg |
| Materyal Türü: | Elektronik Kitap |