Технология изделий микроэлектроники, учебное пособие
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | |
| Zusammenfassung: | Рекомендовано научно-методическим советом ФГБОУ ВО «Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина» в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений направлений подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» И 11.03.01 «Радиотехника» (уровень – бакалавриат) Представлена информация об основных технологических операциях изготовления интегральных микросхем: выращивании и легировании полупроводниковых монокристаллов, изготовлении полупроводниковых пластин, эпитаксиальном выращивании пленок, формировании диэлектрических и проводящих пленок, литографических методах, технологиях создания структур на биполярных и полевых транзисторах. Предназначено для аудиторной и самостоятельной работы студентов дневного отделения направлений 11.03.04, изучающих дисциплину «Технология изделий микро- и наноэлектроники», и 11.03.01, изучающих дисциплину «Техника и технологии полупроводников». Книга из коллекции РГРТУ - Инженерно-технические науки |
| Veröffentlicht: |
Рязань, РГРТУ, 2023
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | https://e.lanbook.com/book/439736 https://e.lanbook.com/img/cover/book/439736.jpg |
| Format: | Elektronisch Buch |
