Физические основы вакуумной техники, учебное пособие
| Hlavní autor: | |
|---|---|
| Další autoři: | , |
| Shrnutí: | Рекомендовано научно-методическим советом ФГБОУ ВО «Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина» в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки: 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств» (уровень - бакалавриат); 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (уровень - бакалавриат) Рассмотрены основные моменты молекулярно-кинетической теории газов и их свойства в зависимости от степени вакуума. Описаны физические принципы работы насосов для получения низкого, среднего и высокого вакуума. Приведены основные сведения о техническом устройстве современных вакуумных насосов. Рассмотрены физические принципы работы современных вакуумметрических датчиков. Приведено описание четырех лабораторных работ, включая порядок выполнения и контрольные вопросы. Предназначено для студентов очной формы обучения направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» и 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств». Книга из коллекции РГРТУ - Инженерно-технические науки |
| Vydáno: |
Рязань, РГРТУ, 2024
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | https://e.lanbook.com/book/439697 https://e.lanbook.com/img/cover/book/439697.jpg |
| Médium: | MixedMaterials Elektronický zdroj Kniha |