Физические основы вакуумной техники, учебное пособие

Detalles Bibliográficos
Autor Principal: Грачев Е. Ю.
Outros autores: Фефелов А. А., Трубицын А. А.
Summary:Рекомендовано научно-методическим советом ФГБОУ ВО «Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина» в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки: 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств» (уровень - бакалавриат); 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (уровень - бакалавриат)
Рассмотрены основные моменты молекулярно-кинетической теории газов и их свойства в зависимости от степени вакуума. Описаны физические принципы работы насосов для получения низкого, среднего и высокого вакуума. Приведены основные сведения о техническом устройстве современных вакуумных насосов. Рассмотрены физические принципы работы современных вакуумметрических датчиков. Приведено описание четырех лабораторных работ, включая порядок выполнения и контрольные вопросы. Предназначено для студентов очной формы обучения направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» и 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств».
Книга из коллекции РГРТУ - Инженерно-технические науки
Publicado: Рязань, РГРТУ, 2024
Subjects:
Acceso en liña:https://e.lanbook.com/book/439697
https://e.lanbook.com/img/cover/book/439697.jpg
Formato: Electrónico Libro