Плазменное оборудование для нанотехнологий, учебное пособие
| Հիմնական հեղինակ: | |
|---|---|
| Այլ հեղինակներ: | |
| Ամփոփում: | Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяе- мого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и за- рубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магистров направлений подготовки 28.04.02 «Наноинженерия» и 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов». Подготовлено на кафедре плазмохимических и нанотехнологий высоко- молекулярных материалов. Книга из коллекции КНИТУ - Нанотехнологии |
| Հրապարակվել է: |
Казань, КНИТУ, 2022
|
| Խորագրեր: | |
| Առցանց հասանելիություն: | https://e.lanbook.com/book/412304 https://e.lanbook.com/img/cover/book/412304.jpg |
| Ձևաչափ: | Էլեկտրոնային Գիրք |
