Исследование процесса термического напыления тонких металлических пленок, учебно-методическое пособие

Détails bibliographiques
Auteur principal: Владимирова Л. Н.
Autres auteurs: Машкина Е. С., Сахаров Б. Н.
Résumé:Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендовано для студентов физического факультета очной формы обучения по программам бакалавриата. Для направлений: 11.03.04 - Электроника и наноэлектроника; 03.03.03 Радиофизика (специализация «Микроэлектроника и полупроводниковые приборы»).
Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки
Publié: Воронеж, ВГУ, 2019
Sujets:
Accès en ligne:https://e.lanbook.com/book/405659
https://e.lanbook.com/img/cover/book/405659.jpg
Format: Électronique Livre