Исследование процесса термического напыления тонких металлических пленок, учебно-методическое пособие

Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Владимирова Л. Н.
Altri autori:	Машкина Е. С., Сахаров Б. Н.
Riassunto:	Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендовано для студентов физического факультета очной формы обучения по программам бакалавриата. Для направлений: 11.03.04 - Электроника и наноэлектроника; 03.03.03 Радиофизика (специализация «Микроэлектроника и полупроводниковые приборы»). Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки
Pubblicazione:	Воронеж, ВГУ, 2019
Soggetti:	проводниковые материалы термическое испарение термическое напыление тонкие металлические пленки равномерность толщины пленки достоинства и недостатки контакт металл полупроводник
Accesso online:	https://e.lanbook.com/book/405659 https://e.lanbook.com/img/cover/book/405659.jpg
Natura:	Elettronico Libro

Accesso online