Исследование процесса термического напыления тонких металлических пленок учебно-методическое пособие

Исследование процесса термического напыления тонких металлических пленок, учебно-методическое пособие

Библиографические подробности
Главный автор:	Владимирова Л. Н.
Другие авторы:	Машкина Е. С., Сахаров Б. Н.
Примечания:	Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендовано для студентов физического факультета очной формы обучения по программам бакалавриата. Для направлений: 11.03.04 - Электроника и наноэлектроника; 03.03.03 Радиофизика (специализация «Микроэлектроника и полупроводниковые приборы»). Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки
Опубликовано:	Воронеж, ВГУ, 2019
Предметы:	проводниковые материалы термическое испарение термическое напыление тонкие металлические пленки равномерность толщины пленки достоинства и недостатки контакт металл полупроводник
Online-ссылка:	https://e.lanbook.com/book/405659 https://e.lanbook.com/img/cover/book/405659.jpg
Формат:	Электронный ресурс Книга

Internet

https://e.lanbook.com/book/405659
https://e.lanbook.com/img/cover/book/405659.jpg