Исследование процесса термического напыления тонких металлических пленок, учебно-методическое пособие
| Автор: | |
|---|---|
| Інші автори: | , |
| Резюме: | Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендовано для студентов физического факультета очной формы обучения по программам бакалавриата. Для направлений: 11.03.04 - Электроника и наноэлектроника; 03.03.03 Радиофизика (специализация «Микроэлектроника и полупроводниковые приборы»). Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки |
| Опубліковано: |
Воронеж, ВГУ, 2019
|
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | https://e.lanbook.com/book/405659 https://e.lanbook.com/img/cover/book/405659.jpg |
| Формат: | Електронний ресурс Книга |
