Вакуумные системы источников синхротронного излучения, учебное пособие
| Autore principale: | |
|---|---|
| Altri autori: | |
| Riassunto: | Рассмотрены основные требования к вакуумным системам современных источников синхротронного излучения (СИ), особенности их проектирования и расчета. Основной акцент сделан на определяющую роль поверхности в сверхвысоковакуумных установках. Рассмотрены современные подходы к использованию компактных комбинированных насосов, распределенных насосов на основе геттерных материалов и покрытий в реализации эффективной откачки остаточных газов в протяженных вакуумных системах. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования. Работа подготовлена в рамках мероприятий по выполнению Соглашения № 075-15-2021-1359/1 на реализацию отдельных мероприятий Федеральной научно-технической программы развития синхротронных и нейтронных исследований и исследовательской инфраструктуры на 2019–2027 гг. Книга из коллекции НГТУ - Инженерно-технические науки |
| Pubblicazione: |
Новосибирск, НГТУ, 2022
|
| Soggetti: | |
| Accesso online: | https://e.lanbook.com/book/404783 https://e.lanbook.com/img/cover/book/404783.jpg |
| Natura: | Elettronico Libro |
