Диэлектрические пленки для ИС

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter: Саркаров Т. Э.
Andre forfattere: Шангереева Б. А.
Summary:В монографии рассматриваются вопросы получения диэлектрических пленок в планарной технологии изготовления ИС, физико-химических свойств тонких диэлектрических пленок для ИС, распределения заряда в тонких диэлектрических пленках и влияние излучений на МДП-структуры. Данная работа представляет интерес для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования технологии изготовления и применения ИС.
Книга из коллекции ДГТУ - Химия
Udgivet: Махачкала, ДГТУ, 2021
Fag:
Online adgang:https://e.lanbook.com/book/404174
https://e.lanbook.com/img/cover/book/404174.jpg
Format: Electronisk Bog