Определение энергии активации процесса плазмохимического травления учебно-методическое пособие для вузов
| Parent link: | Плазменные технологии в микроэлектронике. / Коняев И. В.,Дикарев Ю. И.,Владимирова Л. Н.. Ч. 4.— учебно-методическое пособие для вузов |
|---|---|
| 主要作者: | |
| 其他作者: | , |
| 总结: | Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров. Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки |
| 出版: |
Воронеж, ВГУ, 2014
|
| 主题: | |
| 在线阅读: | https://e.lanbook.com/book/357425 https://e.lanbook.com/img/cover/book/357425.jpg |
| 格式: | 电子 图书 |
