Определение энергии активации процесса плазмохимического травления, учебно-методическое пособие для вузов
| Parent link: | Плазменные технологии в микроэлектронике. / Коняев И. В.,Дикарев Ю. И.,Владимирова Л. Н.. Ч. 4.— учебно-методическое пособие для вузов |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Otros Autores: | , |
| Sumario: | Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров. Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки |
| Publicado: |
Воронеж, ВГУ, 2014
|
| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://e.lanbook.com/book/357425 https://e.lanbook.com/img/cover/book/357425.jpg |
| Formato: | Electrónico Libro |
