Определение энергии активации процесса плазмохимического травления учебно-методическое пособие для вузов

Библиографические подробности
Parent link:Плазменные технологии в микроэлектронике. / Коняев И. В.,Дикарев Ю. И.,Владимирова Л. Н.. Ч. 4.— учебно-методическое пособие для вузов
Главный автор: Коняев И. В.
Другие авторы: Дикарев Ю. И., Владимирова Л. Н.
Примечания:Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров.
Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки
Опубликовано: Воронеж, ВГУ, 2014
Предметы:
Online-ссылка:https://e.lanbook.com/book/357425
https://e.lanbook.com/img/cover/book/357425.jpg
Формат: Электронный ресурс Книга

Схожие документы