Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов
| Parent link: | Плазменные технологии в микроэлектронике. / Владимирова Л. Н.,Дикарев Ю. И.,Рубинштейн В. М.,Петраков В. И.. Ч. 3.— учебно-методическое пособие для вузов |
|---|---|
| 1. Verfasser: | |
| Weitere Verfasser: | , , |
| Zusammenfassung: | Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров. Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки |
| Veröffentlicht: |
Воронеж, ВГУ, 2014
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | https://e.lanbook.com/book/357422 https://e.lanbook.com/img/cover/book/357422.jpg |
| Format: | Elektronisch Buch |
