Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме, учебно-методическое пособие для вузов
| Источник: | Плазменные технологии в микроэлектронике. / Владимирова Л. Н.,Дикарев Ю. И.,Рубинштейн В. М.,Петраков В. И.. Ч. 3.— учебно-методическое пособие для вузов |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Другие авторы: | , , |
| Примечания: | Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров. Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки |
| Опубликовано: |
Воронеж, ВГУ, 2014
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/357422 https://e.lanbook.com/img/cover/book/357422.jpg |
| Формат: | Электронный ресурс Книга |
