Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме учебно-методическое пособие для вузов
| Parent link: | Плазменные технологии в микроэлектронике. / Владимирова Л. Н.,Дикарев Ю. И.,Рубинштейн В. М.,Петраков В. И.. Ч. 3.— учебно-методическое пособие для вузов |
|---|---|
| প্রধান লেখক: | |
| অন্যান্য লেখক: | , , |
| সংক্ষিপ্ত: | Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров. Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки |
| প্রকাশিত: |
Воронеж, ВГУ, 2014
|
| বিষয়গুলি: | |
| অনলাইন ব্যবহার করুন: | https://e.lanbook.com/book/357422 https://e.lanbook.com/img/cover/book/357422.jpg |
| বিন্যাস: | বৈদ্যুতিক গ্রন্থ |
MARC
| LEADER | 00000nam0a2200000 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU-LAN-BOOK-357422 | ||
| 100 | |a 20250516d2014 k y0rusy01020304ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 106 | |a z | ||
| 200 | 1 | |a Кинетика процессов реактивного ионно-плазменного травления полупроводников в галогенсодержащей плазме |f Владимирова Л. Н.,Дикарев Ю. И.,Рубинштейн В. М.,Петраков В. И. |e учебно-методическое пособие для вузов |h Ч. 3 | |
| 210 | |a Воронеж |b Воронеж |c ВГУ |d 2014 | ||
| 215 | |a 21 с. | ||
| 330 | |a Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров. | ||
| 333 | |a Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки | ||
| 461 | 0 | |1 2001 |a Плазменные технологии в микроэлектронике |e учебно-методическое пособие для вузов |f Владимирова Л. Н.,Дикарев Ю. И.,Рубинштейн В. М.,Петраков В. И. |v Ч. 3 | |
| 610 | 0 | |a низкотемпературная плазма | |
| 610 | 0 | |a газоразрядная плазма | |
| 610 | 0 | |a элементарные процессы | |
| 610 | 0 | |a классификация процессов | |
| 610 | 0 | |a плазменное травление | |
| 610 | 0 | |a реактивное ионноплазменное травление | |
| 610 | 0 | |a ионная бомбардировка | |
| 610 | 0 | |a экспериментальная установка | |
| 610 | 0 | |a методика выполнения работы | |
| 700 | 1 | |a Владимирова |b Л. Н. | |
| 701 | 1 | |a Дикарев |b Ю. И. | |
| 701 | 1 | |a Рубинштейн |b В. М. | |
| 701 | 1 | |a Петраков |b В. И. | |
| 801 | 1 | |a RU |b Издательство Лань |c 20250516 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/357422 | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/357422.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/357422.jpg | ||