Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов

Плазмохимическое травление материалов электронной техники, учебно-методическое пособие для вузов

Détails bibliographiques
Parent link:	Плазменные технологии в микроэлектронике. / Владимирова Л. Н.,Дикарев Ю. И.,Рубинштейн В. М.,Петраков В. И.. Ч. 1.— учебно-методическое пособие для вузов
Auteur principal:	Владимирова Л. Н.
Autres auteurs:	Дикарев Ю. И., Рубинштейн В. М., Петраков В. И.
Résumé:	Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров. Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки
Publié:	Воронеж, ВГУ, 2014
Sujets:	низкотемпературная газоразрядная плазма определения терминов классификация процессов плазменное травление элементарные процессы механизм генерации химически активные частицы плазмохимическое травление кинетика химических процессов твердое тело газ зависимость скорости травления температура технологические факторы скорость травления материалов экспериментальная установка методика выполнения работы
Accès en ligne:	https://e.lanbook.com/book/357416 https://e.lanbook.com/img/cover/book/357416.jpg
Format:	Électronique Livre

Internet

https://e.lanbook.com/book/357416
https://e.lanbook.com/img/cover/book/357416.jpg