Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов

Плазмохимическое травление материалов электронной техники, учебно-методическое пособие для вузов

Bibliographic Details
Parent link:	Плазменные технологии в микроэлектронике. / Владимирова Л. Н.,Дикарев Ю. И.,Рубинштейн В. М.,Петраков В. И.. Ч. 1.— учебно-методическое пособие для вузов
Main Author:	Владимирова Л. Н.
Other Authors:	Дикарев Ю. И., Рубинштейн В. М., Петраков В. И.
Summary:	Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров. Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки
Published:	Воронеж, ВГУ, 2014
Subjects:	низкотемпературная газоразрядная плазма определения терминов классификация процессов плазменное травление элементарные процессы механизм генерации химически активные частицы плазмохимическое травление кинетика химических процессов твердое тело газ зависимость скорости травления температура технологические факторы скорость травления материалов экспериментальная установка методика выполнения работы
Online Access:	https://e.lanbook.com/book/357416 https://e.lanbook.com/img/cover/book/357416.jpg
Format:	Electronic Book

Internet

https://e.lanbook.com/book/357416
https://e.lanbook.com/img/cover/book/357416.jpg