Плазмохимическое травление материалов электронной техники учебно-методическое пособие для вузов

Плазмохимическое травление материалов электронной техники, учебно-методическое пособие для вузов

Bibliographische Detailangaben
Parent link:	Плазменные технологии в микроэлектронике. / Владимирова Л. Н.,Дикарев Ю. И.,Рубинштейн В. М.,Петраков В. И.. Ч. 1.— учебно-методическое пособие для вузов
1. Verfasser:	Владимирова Л. Н.
Weitere Verfasser:	Дикарев Ю. И., Рубинштейн В. М., Петраков В. И.
Zusammenfassung:	Учебно-методическое пособие подготовлено на кафедре физики полупроводников и микроэлектроники физического факультета Воронежского государственного университета. Рекомендуется для студентов 3-го курса дневного отделения физического факультета, обучающихся по программе подготовки бакалавров. Книга из коллекции ВГУ - Инженерно-технические науки
Veröffentlicht:	Воронеж, ВГУ, 2014
Schlagworte:	низкотемпературная газоразрядная плазма определения терминов классификация процессов плазменное травление элементарные процессы механизм генерации химически активные частицы плазмохимическое травление кинетика химических процессов твердое тело газ зависимость скорости травления температура технологические факторы скорость травления материалов экспериментальная установка методика выполнения работы
Online-Zugang:	https://e.lanbook.com/book/357416 https://e.lanbook.com/img/cover/book/357416.jpg
Format:	Elektronisch Buch

Online

https://e.lanbook.com/book/357416
https://e.lanbook.com/img/cover/book/357416.jpg