Плазменная электроника, учеб. пособие
| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Summary: | Соответствует требованиям ФГОС по направлению подготовки «Нанотехнологии и микросистемная техника». Является базовым для освоения дисциплин, посвященных методам и устройствам получения микро-, нано-объектов и материалов. Рассмотрены общие вопросы физики плазмы и газовых разрядов, методы диагностики плазмы, плазменные источники ионов, газоразрядные источники ионов и плазменные лазеры. Предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Вакуумная и плазменная электроника». Книга из коллекции ИРНИТУ - Инженерно-технические науки |
| Udgivet: |
Иркутск, ИРНИТУ, 2021
|
| Online adgang: | https://e.lanbook.com/book/325331 https://e.lanbook.com/img/cover/book/325331.jpg |
| Format: | MixedMaterials Electronisk Bog |
