Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем, учебное пособие для вузов
| Autor principal: | |
|---|---|
| Resumo: | Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро- и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств». Книга из коллекции Лань - Инженерно-технические науки |
| Publicado em: |
Санкт-Петербург, Лань, 2023
|
| Edição: | 3-е изд., стер. |
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | https://e.lanbook.com/book/324977 https://e.lanbook.com/img/cover/book/324977.jpg |
| Formato: | Recurso Electrónico Livro |
