Физические основы электронно-ионно-лучевых и плазменных технологий, учебное пособие для аспирантов направления 11.06.01
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | , , , |
| Примечания: | Рассматриваются основные физические процессы взаимодействия ускоренных частиц и плазмы с веществом, принципы работы пучкового и плазменного технологического оборудования, применение электронно-ионно-плазменных технологий в промышленности. Для аспирантов направления подготовки 11.06.01, а также студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся в области физической электроники, ионно-плазменных и лучевых технологий, вакуумной и плазменной электроники, микро- и наноэлектроники, физики твердого тела, материаловедения. Учебное пособие может быть полезным для специалистов и инженеров, сфера деятельности которых касается взаимодействия плазмы и ионных пучков с поверхностью, методов обработки материалов потоками заряженных частиц. Книга из коллекции ТУСУР - Физика |
| Опубликовано: |
Москва, ТУСУР, 2020
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://e.lanbook.com/book/313868 https://e.lanbook.com/img/cover/book/313868.jpg |
| Формат: | Электронный ресурс Книга |
