Основы вакуумных технологий, учебное пособие для студентов направления «электроника и наноэлектроника»
| Autor principal: | |
|---|---|
| Sumario: | В пособии рассматриваются: физические принципы формирования приборов электроники и наноэлектроники на основе вакуумных технологий; основные приемы построения последовательностей технологических операций при формировании и синтезе оптических материалов в вакууме; современные вакуумные технологии, применяемые при производстве приборов электроники и наноэлектроники; принципиальные схемы последовательностей технологических операций; оптимальные режимы проведения технологических операций в вакуумных устройствах; анализ достоинств и недостатков известных вакуумных технологий формирования оптических материалов на элементах электроники и наноэлектроники. Приведены основы конструирования и сервисного обслуживания современных вакуумных систем. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника» по дисциплине «Основы вакуумных технологий» Книга из коллекции ТУСУР - Инженерно-технические науки |
| Publicado: |
Москва, ТУСУР, 2018
|
| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://e.lanbook.com/book/313598 https://e.lanbook.com/img/cover/book/313598.jpg |
| Formato: | Electrónico Libro |
