Вакуумные и плазменные приборы и устройства, учебное пособие для студентов направления подготовки 11.03.04 - «электроника и наноэлектроника»
| Main Author: | |
|---|---|
| Summary: | Задачей дисциплины «Вакуумные и плазменные приборы и устройства» является ознакомление студентов с физическими процессами, сопровождающими протекание электрического тока в вакууме, изучение закономерностей, характеризующих эти процессы, и формирование у студентов умения применять эти закономерности на практике. В курсе рассмотрены вопросы формирования и транспортировки электронных пучков, методы генерации и диагностики плазмы, а также применение ионно-плазменных устройств в технологических процессах Пособие предназначено для студентов очной формы обучения, обучающихся по направлению 11.03.04 - «Электроника и наноэлектроника» по дисциплине «Вакуумные и плазменные приборы и устройства». Книга из коллекции ТУСУР - Инженерно-технические науки |
| Published: |
Москва, ТУСУР, 2018
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://e.lanbook.com/book/313013 https://e.lanbook.com/img/cover/book/313013.jpg |
| Format: | MixedMaterials Electronic Book |
