Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки учебник для вузов
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Summary: | Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике. Приведены примеры практического использования методик очистки и особо чистых веществ в современной промышленности. Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника». Книга из коллекции Лань - Инженерно-технические науки |
| Published: |
Санкт-Петербург, Лань, 2023
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://e.lanbook.com/book/302360 https://e.lanbook.com/img/cover/book/302360.jpg |
| Format: | Electronic Book |
