Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 1. От минерального сырья к монокристаллу учебник для вузов

Bibliographic Details
Main Author: Александрова О. А.
Other Authors: Лебедев А. О., Мараева Е. В.
Summary:Рассмотрены основные процессы подготовки исходного сырья и синтеза полупроводниковых материалов. Приводятся методики расчета технологических условий получения легированных полупроводниковых монокристаллов. Предложены задачи для самостоятельного углубленного изучения дисциплины. Приведены справочные данные, необходимые для проведения расчетов. Предназначено для бакалавров, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».
Книга из коллекции Лань - Инженерно-технические науки
Published: Санкт-Петербург, Лань, 2023
Subjects:
Online Access:https://e.lanbook.com/book/302354
https://e.lanbook.com/img/cover/book/302354.jpg
Format: Electronic Book

Similar Items