Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 1. От минерального сырья к монокристаллу учебник для вузов
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Summary: | Рассмотрены основные процессы подготовки исходного сырья и синтеза полупроводниковых материалов. Приводятся методики расчета технологических условий получения легированных полупроводниковых монокристаллов. Предложены задачи для самостоятельного углубленного изучения дисциплины. Приведены справочные данные, необходимые для проведения расчетов. Предназначено для бакалавров, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника». Книга из коллекции Лань - Инженерно-технические науки |
| Published: |
Санкт-Петербург, Лань, 2023
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://e.lanbook.com/book/302354 https://e.lanbook.com/img/cover/book/302354.jpg |
| Format: | Electronic Book |
