Александрова О. А., Лебедев А. О., & Мараева Е. В. (2023). Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 1. От минерального сырья к монокристаллу: учебник для вузов. Санкт-Петербург, Лань, 2023.
Chicago Style (17th ed.) CitationАлександрова О. А., Лебедев А. О., and Мараева Е. В. Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 1. От минерального сырья к монокристаллу: учебник для вузов. Санкт-Петербург, Лань, 2023, 2023.
MLA (9th ed.) CitationАлександрова О. А., et al. Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 1. От минерального сырья к монокристаллу: учебник для вузов. Санкт-Петербург, Лань, 2023, 2023.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.