Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
| Autor Principal: | |
|---|---|
| Outros autores: | |
| Summary: | Описаны методы и устройства для нанесения функциональных тонких пленок на материалы, применяемые в различных отраслях, и вопросы безопасности работ на предприятиях микроэлектроники. Основное внимание уделено растворным методам, в которых не используются вакуумные системы. Рассмотрены вопросы регенерации отработанных растворов в цехах химической и электрохимической металлизации и охраны труда при производстве этих работ, а также перспективные методы получения полимерных и оксидных пленок. Показана возможность получения функциональных материалов и устройств с использованием безопасных растворных методов. Для магистрантов, аспирантов, преподавателей, научных работников и специалистов в области техносферной безопасности, приборостроения, твердотельной электроники. Книга из коллекции БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова - Инженерно-технические науки |
| Publicado: |
Санкт-Петербург, БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова, 2021
|
| Subjects: | |
| Acceso en liña: | https://e.lanbook.com/book/220157 https://e.lanbook.com/img/cover/book/220157.jpg |
| Formato: | MixedMaterials Electrónico Libro |
