Технология полупроводниковых материалов
| Автор: | |
|---|---|
| Інші автори: | |
| Резюме: | Представлена технология и техника производства полупроводниковых материалов, имеющих широкое применение в электронной промышленности. Рассмотрены основные физические и химические свойства элементарных полупроводников и компонентов бинарных соединений, необходимые для обоснования рациональных приемов их глубокой очистки, синтеза и получения в виде массивных монокристаллов. Приведены традиционные и новейшие технологические схемы и технические решения, даны краткие описания оборудования, позволяющие формировать оптимальные схемы производства с учетом требований к качеству продукции. Пособие предназначено для студентов вузов, обучающихся по магистерской программе «Современные проблемы материаловедения» направления подготовки магистров «Материаловедение и технология материалов». Оно также может быть использовано при обучении в системах повышения квалификации и в учреждениях дополнительного профессионального образования. Книга из коллекции Лань - Инженерно-технические науки |
| Опубліковано: |
Санкт-Петербург, Лань, 2022
|
| Редагування: | 2-е изд., испр. |
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | https://e.lanbook.com/book/210869 https://e.lanbook.com/img/cover/book/210869.jpg |
| Формат: | Електронний ресурс Книга |