Особенности получения наноструктурированных ионно-плазменных пленок с заданными свойствами монография

Особенности получения наноструктурированных ионно-плазменных пленок с заданными свойствами, монография

Detalhes bibliográficos
Autor principal:	Каменева А. Л.
Outros Autores:	Клочков А. Ю.
Resumo:	Представлены результаты исследований в области получения нано-структурированных пленок ионно-плазменными методами. Представлены результаты модернизации и автоматизации вакуумного оборудования, получения и исследований пленок ZrN, полученных электродуговым испарением и магнетронным распылением. Изучено влияние технологических и тепловых параметров на структуру, фазовый состав и свойства пленок ZrN. Предназначено для студентов и аспирантов, преподавателей, исследователей в области технологии получения износостойких покрытий. Книга из коллекции ПНИПУ - Инженерно-технические науки
Publicado em:	Пермь, ПНИПУ, 2010
Assuntos:	ионноплазменные методы корреляционная связь структура пленок параметры технологических процессов специфические свойства наноструктурированные пленки неравновесные состояния физикохимические характеристики физикомеханические характеристики механизмы формирования однокомпонентные пленки получение пленок zrn электродугового испарения магнетронного распыления модернизация установки исследование структуры свойства пленок zrn методика эксперимента влияние тока дуги фазовый состав кристаллографическая ориентация напряжение смещения дистанция источник подложка соотношение газов давление газовой смеси
Acesso em linha:	https://e.lanbook.com/book/160423 https://e.lanbook.com/img/cover/book/160423.jpg
Formato:	Recurso Electrónico Livro

Internet

https://e.lanbook.com/book/160423
https://e.lanbook.com/img/cover/book/160423.jpg