Физические основы микро- и нанотехнологии, учебное пособие
| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Andre forfattere: | |
| Summary: | Утверждено Редакционно-издательским советом университета в качестве учебного пособия Изложены основные положения квантовой механики, вопросы строения и структуры традиционных конструкционных материалов. Рассмотрены физические основы базовых технологических операций в микро- и наноэлектронике: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, цифровая обработка изображений, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы измерений в микро- и нанотехнике. Предназначено для студентов высших учебных заведений. Может быть полезно специалистам по радиоэлектронике. Издано в рамках программы опережающей профессиональной подготовки (уровень – магистратура), ориентированной на инвестиционные проекты в области производства погружных электронасосов для нефтедобычи и их узлов с наноструктурными покрытиями Фонда инфраструктурных и образовательных программ «Роснано». Книга из коллекции ПНИПУ - Инженерно-технические науки |
| Udgivet: |
Пермь, ПНИПУ, 2011
|
| Fag: | |
| Online adgang: | https://e.lanbook.com/book/160409 https://e.lanbook.com/img/cover/book/160409.jpg |
| Format: | Electronisk Bog |
