Физические основы микро- и нанотехнологии, учебное пособие
| Auteur principal: | |
|---|---|
| Autres auteurs: | |
| Résumé: | Утверждено Редакционно-издательским советом университета в качестве учебного пособия Изложены основные положения квантовой механики, вопросы строения и структуры традиционных конструкционных материалов. Рассмотрены физические основы базовых технологических операций в микро- и наноэлектронике: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, цифровая обработка изображений, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы измерений в микро- и нанотехнике. Предназначено для студентов высших учебных заведений. Может быть полезно специалистам по радиоэлектронике. Издано в рамках программы опережающей профессиональной подготовки (уровень – магистратура), ориентированной на инвестиционные проекты в области производства погружных электронасосов для нефтедобычи и их узлов с наноструктурными покрытиями Фонда инфраструктурных и образовательных программ «Роснано». Книга из коллекции ПНИПУ - Инженерно-технические науки |
| Publié: |
Пермь, ПНИПУ, 2011
|
| Sujets: | |
| Accès en ligne: | https://e.lanbook.com/book/160409 https://e.lanbook.com/img/cover/book/160409.jpg |
| Format: | Électronique Livre |
