Локальная диагностика состава полупроводниковых наносистем методом сканирующей оже-микроскопии учебно-методическое пособие

Локальная диагностика состава полупроводниковых наносистем методом сканирующей оже-микроскопии, учебно-методическое пособие

Xehetasun bibliografikoak
Egile nagusia:	Николичев Д. Е.
Beste egile batzuk:	Боряков А. В.
Gaia:	Рекомендовано методической комиссией физического факультета для студентов ННГУ, обучающимся по направлениям 210600 – "Нанотехнология в электронике" 210100 – "Электроника и микроэлектроника" Рассматриваются физические основы методов электронной ожеспектроскопии, сканирующей оже-микроскопии и принципы работы растрового электронного микроскопа. Описана методика исследования морфологии поверхности и состава полупроводниковых наноструктур с нанометровым разрешением. Приведены данные анализа состава самоорганизованных кремний-германиевых систем и тонкопленочных структур разбавленных магнитных полупроводников. Для студентов старших курсов и магистратуры физического факультета, обучающихся по специальностям 210600 – "Нанотехнология в электронике" и 210100 – "Электроника и микроэлектроника", направление специализации — "Физика твердотельных наноструктур" Книга из коллекции ННГУ им. Н. И. Лобачевского - Инженерно-технические науки
Argitaratua:	Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2011
Gaiak:	физические основы образование ожеэлектронов метод электронной ожеспектроскопии энергия ожеперехода вероятность ожепроцесса ширина ожепика характеристики ожепроцесса спектр в эос тонкая структура спектра артефакты измерений анализаторы кинетических энергий методы нейтрализации зарядки обработка спектров источники электронов метод растровой электронной микроскопии настройка электронной колонны детекторы вторичных электронов процессы в материале формирование изображения в рэм механизмы формирования контраста математическая обработка изображений в рэм локальный элементный анализ в сом карта распределения элементов в сом методика послойного анализа в сом ионная очистка источник ионов ионное травление юстировка ионного электронного зондов анализатора комплекс omicron multiprobe rm оборудование и характеристики комплекса загрузка образца в вакуумный объем подготовка образцов в вакууме исследование наноструктур методом сом экспериментальная часть состав самоорганизованных нк si/ge/si состав пленок и дефектных областей simn/gaas и sico/si
Sarrera elektronikoa:	https://e.lanbook.com/book/153530 https://e.lanbook.com/img/cover/book/153530.jpg
Formatua:	Baliabide elektronikoa Liburua

Internet

https://e.lanbook.com/book/153530
https://e.lanbook.com/img/cover/book/153530.jpg