Диод Шоттки на основе GaAs: технология получения и диагностика, электронное учебно-методическое пособие

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Дорохин М. В.
مؤلفون آخرون: Здоровейщев А. В.
الملخص:Описаны основные свойства контактов металл/полупроводник, образующих барьер Шоттки. Рассмотрены методы измерений и расчёта характеристик диода Шоттки. Изложены основы технологии формирования контактов металл/полупроводник для Si и GaAs, рассмотрены основные методы формирования контактов. Приведено описание вакуумных методов, в том числе, метода электронно-лучевого испарения. Предложено выполнение практической работы по формированию и исследованию диода Шоттки. Для студентов старших курсов, специализирующихся по направлению 210600 «Нанотехнология», студентов магистратуры и аспирантов, слушающих курсы в области наноэлектроники и ведущих исследования в соответствующей области.
Книга из коллекции ННГУ им. Н. И. Лобачевского - Физика
منشور في: Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2013
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:https://e.lanbook.com/book/153364
https://e.lanbook.com/img/cover/book/153364.jpg
التنسيق: الكتروني كتاب