Анализ твёрдотельных гетеронаносистем методом РФЭС, учебно-методическое пособие
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , , |
| Summary: | Рекомендовано методической комиссией физического факультета для студентов ННГУ, обучающимся по направлениям 222900 – "Нанотехнологии и микросистемная техника", 210100 – "Электроника и наноэлектроника" Рассматриваются физические основы метода рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Рассмотрены методы интерпретации фотоэлектронных спектров. Описана методика проведения количественного химического анализа методом РФЭС совместно с ионным профилированием структур с нанометровыми слоями. Приведены примеры анализа состава наноструктур на основе оксида кремния и спинтронных систем на основе арсенида галлия Для студентов бакалавриата и магистратуры, обучающихся по специальностям 222900 – "Нанотехнологии и микросистемная техника" и 210100 – "Электроника и наноэлектроника", направление специализации — "Физика твердотельных наноструктур" Книга из коллекции ННГУ им. Н. И. Лобачевского - Химия |
| Published: |
Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://e.lanbook.com/book/152945 https://e.lanbook.com/img/cover/book/152945.jpg |
| Format: | Electronic Book |