Анализ твёрдотельных гетеронаносистем методом РФЭС, учебно-методическое пособие

Bibliographic Details
Main Author: Николичев Д. Е.
Other Authors: Боряков А. В., Суродин С. И., Крюков Р. Н.
Summary:Рекомендовано методической комиссией физического факультета для студентов ННГУ, обучающимся по направлениям 222900 – "Нанотехнологии и микросистемная техника", 210100 – "Электроника и наноэлектроника"
Рассматриваются физические основы метода рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Рассмотрены методы интерпретации фотоэлектронных спектров. Описана методика проведения количественного химического анализа методом РФЭС совместно с ионным профилированием структур с нанометровыми слоями. Приведены примеры анализа состава наноструктур на основе оксида кремния и спинтронных систем на основе арсенида галлия Для студентов бакалавриата и магистратуры, обучающихся по специальностям 222900 – "Нанотехнологии и микросистемная техника" и 210100 – "Электроника и наноэлектроника", направление специализации — "Физика твердотельных наноструктур"
Книга из коллекции ННГУ им. Н. И. Лобачевского - Химия
Published: Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2013
Subjects:
Online Access:https://e.lanbook.com/book/152945
https://e.lanbook.com/img/cover/book/152945.jpg
Format: Electronic Book