Основы радиационных технологий . Расчет режимов ионной имплантации и профиля распределения имплантированных атомов примеси на примере изготовления кремниевых солнечных элементов n+ –p–p+ (p+–n–n+)- типа методические указания
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Summary: | Рекомендовано редакционно издательским советом института В методических указаниях рассматриваются принципы расчета режимов ионной имплантации при формировании структур n+–p–p+(p+–n–n+)-типа и профилей распределения имплантированной примеси. Излагается методика расчета в программе Math Cad 2001. Методические указания предназначены для студентов, обучающихся по специальностям 150601 «Материаловедение и технология новых материалов» и 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника». Книга из коллекции МИСИС - Физика |
| Published: |
Москва, МИСИС, 2007
|
| Online Access: | https://e.lanbook.com/book/117212 https://e.lanbook.com/img/cover/book/117212.jpg |
| Format: | Electronic Book |
MARC
| LEADER | 00000nam0a2200000 i 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU-LAN-BOOK-117212 | ||
| 100 | |a 20200604d2007 k y0rusy01020304ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 106 | |a z | ||
| 200 | 1 | |a Основы радиационных технологий . Расчет режимов ионной имплантации и профиля распределения имплантированных атомов примеси на примере изготовления кремниевых солнечных элементов n+ –p–p+ (p+–n–n+)- типа |b Электронный ресурс |f Полисан А. А., Астахов В. П. |e методические указания | |
| 210 | |a Москва |b Москва |c МИСИС |d 2007 | ||
| 215 | |a 18 с. | ||
| 300 | |a Рекомендовано редакционно издательским советом института | ||
| 330 | |a В методических указаниях рассматриваются принципы расчета режимов ионной имплантации при формировании структур n+–p–p+(p+–n–n+)-типа и профилей распределения имплантированной примеси. Излагается методика расчета в программе Math Cad 2001. Методические указания предназначены для студентов, обучающихся по специальностям 150601 «Материаловедение и технология новых материалов» и 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника». | ||
| 333 | |a Книга из коллекции МИСИС - Физика | ||
| 675 | |a 621.315.59 | ||
| 700 | 1 | |a Полисан |b А. А. | |
| 701 | 1 | |a Астахов |b В. П. | |
| 801 | 1 | |a RU |b Издательство Лань |c 20200604 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/117212 | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/117212.jpg |
| 953 | |a https://e.lanbook.com/img/cover/book/117212.jpg | ||