Материалы и элементы электронной техники : Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев практикум
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Summary: | Рекомендовано редакционно-издательским советом университета В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001. Соответствует программе курса «Материалы и элементы электронной техники». Предназначен для студентов, обучающихся по специальностям 150601 «Материаловедение и технология новых материалов» и 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника». Книга из коллекции МИСИС - Инженерно-технические науки |
| Published: |
Москва, МИСИС, 2007
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://e.lanbook.com/book/117210 https://e.lanbook.com/img/cover/book/117210.jpg |
| Format: | Electronic Book |
