Технологические процессы микроэлектроники
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Summary: | Описана методика проведения лабораторных работ по дисциплине «Технологические процессы микроэлектроники», выполнение которых необходимо для приобретения студентами начальных навыков распознавания элементов топологии полупроводниковых интегральных микросхем и практической работы с оборудованием, используемым при их производстве. Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры», а также других специальностей факультета «Информатика и системы управления», подготовка которых предусматривает изучение дисциплин, связанных с технологиями микроэлектроники. Книга из коллекции МГТУ им. Н.Э. Баумана - Инженерно-технические науки |
| Published: |
Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://e.lanbook.com/book/103476 https://e.lanbook.com/img/cover/book/103476.jpg |
| Format: | Electronic Book |
