Вакуумная техника учебник

Вакуумная техника, учебник

Bibliographic Details
Main Author: Розанов Л. Н. Леонид Николаевич
Summary:В учебнике рассмотрены свойства газов при низких давлениях и физико-химические процессы на поверхности твердого тела, течение газов при низких давлениях, методы объемной, ионной и сорбционной откачки, принципы действия различных типов вакуумных насосов, измерение общих и парциальных давлений, течеискание, типовые вакуумные схемы, расчет и проектирование вакуумных систем, конструкции элементов. Для студентов вузов, обучающихся по направлениям подготовки дипломированных специалистов, бакалавров и магистров «Электроника и микроэлектроника». Учебник может быть полезен студентам, обучающимся по направлению подготовки дипломированных специалистов «Гидравлическая, вакуумная и компрессорная техника» и другим направлениям.
Language:Russian
Published: Москва, Высшая школа, 2007
Edition:3-е изд., перераб. и доп.
Series:Для высших учебных заведений
Электронная техника
Subjects:
вакуумная техника
газы
низкое давление
теоретические основы
вакуум
механические методы
вакуумные системы
синтез
конструирование
учебники
машиностроение
электроника
микроэлектроника
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=99803

Similar Items

Similar Items