Вакуумная техника, учебник
| Main Author: | |
|---|---|
| Summary: | В учебнике рассмотрены свойства газов при низких давлениях и физико-химические процессы на поверхности твердого тела, течение газов при низких давлениях, методы объемной, ионной и сорбционной откачки, принципы действия различных типов вакуумных насосов, измерение общих и парциальных давлений, течеискание, типовые вакуумные схемы, расчет и проектирование вакуумных систем, конструкции элементов. Для студентов вузов, обучающихся по направлениям подготовки дипломированных специалистов, бакалавров и магистров «Электроника и микроэлектроника». Учебник может быть полезен студентам, обучающимся по направлению подготовки дипломированных специалистов «Гидравлическая, вакуумная и компрессорная техника» и другим направлениям. |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва, Высшая школа, 2007
|
| Edition: | 3-е изд., перераб. и доп. |
| Series: | Для высших учебных заведений Электронная техника |
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=99803 |