Вакуумная техника, учебник

Bibliographic Details
Main Author: Розанов Л. Н. Леонид Николаевич
Summary:В учебнике рассмотрены свойства газов при низких давлениях и физико-химические процессы на поверхности твердого тела, течение газов при низких давлениях, методы объемной, ионной и сорбционной откачки, принципы действия различных типов вакуумных насосов, измерение общих и парциальных давлений, течеискание, типовые вакуумные схемы, расчет и проектирование вакуумных систем, конструкции элементов. Для студентов вузов, обучающихся по направлениям подготовки дипломированных специалистов, бакалавров и магистров «Электроника и микроэлектроника». Учебник может быть полезен студентам, обучающимся по направлению подготовки дипломированных специалистов «Гидравлическая, вакуумная и компрессорная техника» и другим направлениям.
Language:Russian
Published: Москва, Высшая школа, 2007
Edition:3-е изд., перераб. и доп.
Series:Для высших учебных заведений
Электронная техника
Subjects:
Format: Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=99803

MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 99803
005 20231031111929.0
010 |a 9785060055214 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\107200 
090 |a 99803 
100 |a 20060713d2007 m y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a j 001zy 
200 1 |a Вакуумная техника  |e учебник  |f Л. Н. Розанов 
205 |a 3-е изд., перераб. и доп. 
210 |a Москва  |c Высшая школа  |d 2007 
215 |a 391 с.  |c ил. 
225 1 |a Для высших учебных заведений 
225 1 |a Электронная техника 
320 |a Литература: с. 385. 
320 |a Предметный указатель: с. 386-388. 
330 |a В учебнике рассмотрены свойства газов при низких давлениях и физико-химические процессы на поверхности твердого тела, течение газов при низких давлениях, методы объемной, ионной и сорбционной откачки, принципы действия различных типов вакуумных насосов, измерение общих и парциальных давлений, течеискание, типовые вакуумные схемы, расчет и проектирование вакуумных систем, конструкции элементов. Для студентов вузов, обучающихся по направлениям подготовки дипломированных специалистов, бакалавров и магистров «Электроника и микроэлектроника». Учебник может быть полезен студентам, обучающимся по направлению подготовки дипломированных специалистов «Гидравлическая, вакуумная и компрессорная техника» и другим направлениям. 
451 1 |0 (RuTPU)RU\TPU\book\53162  |y 5-06-000479-1  |t Вакуумная техника  |o учебник для вузов  |e 2-е изд., перераб. и доп.  |c М.  |n Высшая школа  |d 1990  |p 320 с.  |a Розанов, Леонид Николаевич 
610 1 |a вакуумная техника 
610 1 |a газы 
610 1 |a низкое давление 
610 1 |a теоретические основы 
610 1 |a вакуум 
610 1 |a механические методы 
610 1 |a вакуумные системы 
610 1 |a синтез 
610 1 |a конструирование 
610 1 |a учебники 
610 1 |a машиностроение 
610 1 |a электроника 
610 1 |a микроэлектроника 
675 |a 621.52(075.8)  |v 3 
700 1 |a Розанов  |b Л. Н.  |g Леонид Николаевич 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20060713  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20150624  |g PSBO 
900 |a Вакуумная техника 
900 |a Вакуумная и плазменная электроника 
900 |a Кинетика физико-химических явлений и процессов 
900 |a Вакуумное оборудование плазменных и ускорительных систем 
900 |a Автоматизация и управление вакуумным оборудованием 
900 |a Технология производства источников света 
942 |c BK 
952 |a 550700  |b 210107  |b 210100 
959 |a 68/20060712  |d 2  |e 0  |f ЧЗТЛ:1  |f АНЛ:1 
959 |a 45/20070521  |d 3  |e 0  |f ЧЗТЛ:2  |f АНЛ:1