Вакуумная техника: учебник
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Zusammenfassung: | В учебнике рассмотрены свойства газов при низких давлениях и физико-химические процессы на поверхности твердого тела, течение газов при низких давлениях, методы объемной, ионной и сорбционной откачки, принципы действия различных типов вакуумных насосов, измерение общих и парциальных давлений, течеискание, типовые вакуумные схемы, расчет и проектирование вакуумных систем, конструкции элементов. Для студентов вузов, обучающихся по направлениям подготовки дипломированных специалистов, бакалавров и магистров «Электроника и микроэлектроника». Учебник может быть полезен студентам, обучающимся по направлению подготовки дипломированных специалистов «Гидравлическая, вакуумная и компрессорная техника» и другим направлениям. |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Москва, Высшая школа, 2007
|
| Ausgabe: | 3-е изд., перераб. и доп. |
| Schriftenreihe: | Для высших учебных заведений Электронная техника |
| Schlagworte: | |
| Format: | Buch |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=99803 |
| Beschreibung: | 391 с. ил. |
|---|---|
| Zusammenfassung: | В учебнике рассмотрены свойства газов при низких давлениях и физико-химические процессы на поверхности твердого тела, течение газов при низких давлениях, методы объемной, ионной и сорбционной откачки, принципы действия различных типов вакуумных насосов, измерение общих и парциальных давлений, течеискание, типовые вакуумные схемы, расчет и проектирование вакуумных систем, конструкции элементов. Для студентов вузов, обучающихся по направлениям подготовки дипломированных специалистов, бакалавров и магистров «Электроника и микроэлектроника». Учебник может быть полезен студентам, обучающимся по направлению подготовки дипломированных специалистов «Гидравлическая, вакуумная и компрессорная техника» и другим направлениям. |
| ISBN: | 9785060055214 |